高科技行業金屬有機化合物危害調查：以磊晶製程為例

　　高科技產品生命週期短暫，在市場銷售壓力下，總是以不完整的MSDS權充，壓縮執行危害辨識時間，及風險評估的完整性，忽視其必要性與重要性。本研究在調查金屬有機化合物應用於磊晶製程之危害，修正金屬有機化合物之物質安全資料表，完成金屬有機化合物危害預防，以提供主管機關及產業界參考。依照本計畫研究流程進行問卷調查分析、廠商現場訪視及專家諮詢座談會等方式，計已完成蒐集發光二極體 5 家，7 項製程與廠務資料。有關重要成果如下：(一)以GHS格式補充修正10種金屬有機化合物之物質安全資料表，涵蓋三甲基鋁、三甲基鎵、三乙基鎵、三甲基銦、二乙基碲、異戊稀環鎂、肆二甲胺基鈦、肆二乙胺基鈦、二甲基鋅、二乙基鋅。(二)完成金屬有機化合物危害預防技術手冊。本調查研究顯示金屬有機化合物具有發火性、禁水性、腐蝕∕刺激皮膚和眼睛、環境危害。如金屬有機化合物暴露於空氣或水中就會自燃，並產生大量有毒氣膠。本研究已完成上述10種物質MSDS之初步修正，但仍建議依GHS標準修訂程序，謹慎研商、修訂及公告。此外，亦應積極評估金屬氧化物如:氧化鋁、氧化鎵、氧化銦、氧化碲、氧化鋅等之風險評估與緊急洩漏應變計畫。二甲基鋅與二乙基鋅於調查中顯示使用量有增加之趨勢，如未來高科技與光電產業有使用上述材料之需求，建議規劃整合性研究以建立二甲基鋅及二乙基鋅危害預防技術。