微機電系統和微結構及其在航天中的應用

第1章 概論
1.1 概述
1.2 背景和意義
1.3 航天用的MEMS器件
1.3.1 數字微型推進項目STS?93
1.3.2 皮衛星任務
1.3.3 天蠍座亞軌道示范
1.3.4 基於MEMS的微型衛星偵察器系列
1.3.5 導彈和軍火?慣性測量單元
1.3.6 蛋白石、藍寶石和綠寶石
1.3.7 國際案例
1.4 微機電系統和微結構在航天中的應用
1.4.1 對MEMS的理解和MEMS的展望
1.4.2 航天系統和儀器中的MEMS
1.4.3 衛星分系統中MEMS
1.4.4 MEMS技術航天領域應用的插入點
1.5 小結
參考文獻
第2章 MEMS技術在航天任務中的應用前景
第3章 MEMS加工
第4章 空間環境因素對微納米技術的影響
第5章 空間輻射影響和微機電系統
第6章 微納米技術在空間系統的應用
第7章 微加工技術在科學儀器方面的應用
第8章 微機電系統在航天器通信中的應用
第9章 航天器熱控制中的微系統
第10章 航天器制導、導航和控制中的微系統
第11章 微推進技術
第12章 空間應用的MEMS封裝技術
第13章 關鍵性空間應用的處理與污染控制的考慮
第14章 MEMS應用的材料選擇
第15章 基於空間的MEMS設計和應用的可靠性測試
第16章 航天微機電系統與微結構的保障方法