表面與薄膜處理技術(第四版) 

表面與薄膜處理技術(第四版) 
定價:470
NT $ 447
  • 作者:柯賢文
  • 出版社:全華圖書
  • 出版日期:2021-11-03
  • 語言:繁體中文
  • ISBN10:9865039699
  • ISBN13:9789865039691
  • 裝訂:平裝 / 464頁 / 17.8 x 15.9 x 2.32 cm / 普通級 / 單色印刷 / 第四版
 

內容簡介

  固體材料的表面問題既已發展成一非常多樣化的科技,很多出版的參考書籍以專題深入探討或以工具書出現,不易為初學者所接受,也不適宜當教材之用。因此作者就重要的問題分成十二章討論。這十二章的結構實際上可以看成五個部份,第一部份為基礎篇,這些都是乾式氣相表面處理最常面臨的技術。第二部份為氣相技術篇,乃常見的乾式氣相表面處理技術。第三部份為液相技術篇,亦即最傳統的表面處理技術,包括無極鍍、化成、取代及電鍍和電鑄,陽極處理實際上相等於電化學反應的化成作用。第四部份為薄膜篇,包括薄膜的成長及微結構、薄膜的特性及量測。第五部份為前瞻篇,它們已脫離常見表面技術的章節,其中有微機電系統、奈米技術及表面的物理化學性質。本書適合大學、科大、技術學院機械工程、電機、電子材料、化學工程科系『薄膜技術』課程使用。 
 
本書特色
 
  1.固體材料的表面問題已發展成一非常多樣化的科技,本書內容以深入淺出的方式表達,使其成為最適宜的教材。
  2.作者就重要問題分成十二章討論,共分為五大部分為;基礎篇、氣相技術篇、液相技術篇、薄膜篇與前瞻篇,內容精選,整理完善。
  3.適合大學、科大、技術學院機械工程、電機、電子材料、化學工程科系『薄膜技術』課程使用。 
 

目錄

第1章 緒 論
一、表面處理的意義
二、表面處理的應用 
三、表面處理的分類 
四、技術選用考量因素
五、結 語 
 
第2章 基本設備
一、溫度的量測 
二、真空系統 
 
第3章 認識電漿
一、電漿的產生 
二、電漿的特性 
三、電漿的化學反應 
四、電漿在表面技術上的應用 
 
第4章 物理蒸鍍
一、熱力學 
二、氣體動力學 
三、蒸 鍍 
四、蒸鍍設備 
五、合金蒸鍍
六、化合物蒸鍍 
七、應 用 
 
第5章 濺射鍍膜
一、前 言 
二、粒子的撞擊 
三、動能的轉移 
四、撞擊效應 
五、濺射的方法 
六、濺射係數 
七、濺射鍍膜技術 
八、靶 材 
九、濺鍍和熱蒸鍍的比較 
十、應 用 
 
第6章 化學氣相蒸鍍
一、前 言 
二、化學問題 
三、熱力學的問題 
四、化學動力學的問題 
五、CVD設備及系統 
六、應 用 
 
第7章 液相表面處理
一、前 言 
二、前處理 
三、無極電鍍 
四、取代反應 
五、化成被覆 
六、電 鍍 
七、陽極處理 
八、電 鑄 
九、廢水處理 
 
第8章 薄膜的成長及微結構
一、前 言 
二、表面前清理 
三、薄膜的成長 
四、微結構 
五、磊 晶 
 
第9章 薄膜特性及量測
一、前 言 
二、厚 度 
三、薄膜特性 
四、表面分析儀器 
五、其他表面分析儀器 
 
第10章 表面蝕刻及微機電系統
一、圖樣化及蝕刻 
二、微機電系統 
三、矽製程 
 
第11章 奈米技術
一、奈米材料 
二、奈米科技發展史 
三、奈米合成和表面技術 
四、奈米材料之特徵
五、奈米材料之應用 
六、結 語 
 
第12章 表面的物理化學性質
一、前 言 
二、表面張力 
三、電 濕 
四、L-B薄膜 
 
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