本書分為七章，內容由淺入深包括重要的氣體理論、應用真空的基本原理、真空中氣體的性質及真空中的氣流形態、真空範圍的區分、真空技術應用的範圍等。抽真空的方法有各類幫浦的介紹包括原理、構造、操作及應用等。真空量測包含介紹各類真空計及其校正、真空的基本量，如抽氣速率、氣流通量及氣導的測定、真空系統計算包括管路氣導、薄壁上孔道的氣導、有效抽氣速率、抽氣速率損失、氣體分子的平均自由動徑、氣體分子撞擊率及單分子層附著時間等的計算。真空系統的測漏包括測漏儀、找漏孔及堵漏、真空系統的污染包括防止及消除污染的方法、系統烘烤對真空度的影響。此外並介紹常用的真空製程、高科技真空製程及鍍膜技術。
本書可使入門者循序漸進的學習，亦可作為熟悉真空科技者有系統復習的參考資料。本書可供真空技術課程的用書，及從事與真空相關的科技人員的參考書。
作者簡介
蘇青森
現職：國立清華大學兼任教授
學歷：美國倫色列理工學院博士
經歷：國立清華大學原子科學院教授、院長
行政院原子能委員會副主任委員
Chapter １ 真空的基本觀念
1.1 從歷史發展認識真空
1.2 絕對真空與真空的定義
1.3 真空壓力與真空度
1.4 自然界的真空
1.5 真空技術的基本量
1.6 真空系統的特徵
1.7 真空應用
Chapter ２ 真空中的氣體與氣流
2.1 氣體與真空壓力
2.2 部分壓力與總壓力
2.3 真空中的氣流形態
2.4 真空區分
2.5 真空有關的氣體理?
Chapter ３ 產生真空的方法
3.1 真空幫浦
3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦
3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦
3.4 抽真空系統的幫浦組合
Chapter ４ 真空量測
4.1 真空量測的基本量
4.2 真空中氣體的壓力
4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計
4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計
4.5 部分壓力分析儀
4.6 真空計的校正
4.7 抽氣速率的測定
4.8 氣流通量的測定
4.9 氣導的測定
Chapter ５ 真空系統與計算
5.1 真空系統
5.2 真空系統管路氣導的計算
5.3 管路氣導的計算公式
5.4 薄壁上孔道的氣導
5.5 管路中空氣以外其他氣體的氣體
5.6 真空系統有效抽氣速率
5.7 抽氣速率損失
5.8 氣體分子的平均自由動徑
5.9 氣體分子間平均碰衝率
5.10 單分子層附著時間
Chapter ６ 測漏技術與清潔方法
6.1 真空系統的漏氣
6.2 找漏與堵漏
6.3 真空系統的污染
6.4 清潔的方法
6.5 真空系統烘烤
Chapter ７ 真空製程
7.1 常用的真空製程
7.2 高科技真空製程
7.3 鍍膜技術簡介
