奈米碳管毒性氣體偵測器研發-NO2.NH3 IOSH93-S312

奈米碳管毒性氣體偵測器研發-NO2.NH3 IOSH93-S312
定價:200
NT $ 190
 

內容簡介

利用微奈米機電與 E-beam lithography 製程,設計製作出感測元件電極。然後利用化學氣相沉積法(CVD)成長(growth)出奈米碳管,完成奈米碳管場效電晶體式毒性氣體感測器。
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