前言
第1章 等離子體基本概念和性質
1.1 等離子體概念
1.1.1 等離子體的定義
1.1.2 等離子體的分類
1.2 等離子體的導電性與準電中性
1.2.1 等離子體的導電性
1.2.2 等離子體的準電中性
1.3 等離子體的基本參量
1.3.1 等離子體密度與電離度
1.3.2 等離子體溫度
1.3.3 德拜長度
1.3.4 等離子體鞘層
1.3.5 等離子體頻率
1.3.6 等離子體的時空特征量
1.4 等離子體中帶電粒子的擴散
1.5 低氣壓低溫等離子體診斷方法概述
參考文獻
第2章 氣體放電等離子體基礎
2.1 直流輝光放電
2.1.1 帕邢定律
2.1.2 直流輝光放電特性
2.2 射頻輝光放電
2.2.1 射頻放電過程
2.2.2 射頻等離子體中的自偏壓
2.2.3 射頻放電的優點
2.2.4 射頻放電的產生方法
2.3 微波放電
2.4 微波電子回旋共振放電
參考文獻
第3章 等離子體化學基礎
3.1 化學反應的表征
3.2 等離子體中的化學反應
3.2.1 同相反應
3.2.2 異相反應
3.3 化學反應鏈
3.4 等離子體與表面相互作用
3.4.1 等離子體與固體表面的物理作用
3.4.2 離子和電子誘導的表面化學反應
3.4.3 能量傳遞
3.4.4 對薄膜沉積的影響
3.4.5 等離子體誘導損傷
參考文獻
第4章 低氣壓低溫等離子體的探針診斷
4.1 朗繆爾探針診斷的基本方法
4.1.1 朗繆爾探針結構與工作電路
4.1.2 朗繆爾探針的電壓.電流特性
4.1.3 從探針I-V特性曲線獲取等離子體參數
4.1.4 探針診斷的條件、優點與缺點
4.1.5 探針測量誤差的主要來源
4.2 朗繆爾探針的基本理論
4.2.1 無踫撞鞘層
4.2.2 平面探針
4.2.3 圓柱形探針
4.3 非麥克斯韋分布的探針理論
4.4 各向異性等離子體的探針診斷
4.5 踫撞對探針診斷的影響
4.6 磁化等離子體中的朗繆爾探針
4.6.1 磁場的影響
4.6.2 磁化等離子體中的探針測量
4.7 射頻等離子體中的朗繆爾探針
4.7.1 射頻等離子體中的探針特性
4.7.2 射頻補償方法
4.7.3 無補償的測量條件
4.8 朗繆爾探針方法的空間和時間分辨率
4.8.1 朗繆爾探針方法的空間分辨率
4.8.2 朗繆爾探針方法的時間分辨率
4.9 化學活性等離子體的探針診斷
4.9.1 化學活性等離子體中的探針污染
4.9.2 發射探針技術
4.9.3 電容耦合探針技術
4.9.4 懸浮探針技術
4.9.5 三探針技術
4.9.6 射頻阻抗探針和等離子體振蕩探針技術
4.9.7 熱探針技術
4.9.8 探針表面的清洗方法
4.10 探針I-V特性的二次微分方法
4.10.1 探針I-V特性二次微分的微分電路法
4.10.2 探針I-V特性二次微分的交流測量法
4.10.3 探針I-V特性二次微分的數值微分法
4.11 雙探針技術
4.12 其他探針技術
4.12.1 磁探針
4.12.2 能量分析器
4.12.3 射頻電流探針
4.13 低氣壓低溫等離子體的探針診斷應用實例
4.13.1 薄膜沉積的探針診斷
4.13.2 脈沖激光等離子體的探針診斷
4.13.3 塵埃等離子體的探針診斷
4.13.4 甚高頻放電等離子體的探針診斷
參考文獻
第5章 低氣壓低溫等離子體的波干涉診斷
5.1 微波干涉法
5.2 傳輸線微波干涉法
5.3 激光干涉法
5.4 激光雙色干涉法
參考文獻
第6章 低氣壓低溫等離子體的光譜診斷
6.1 等離子體光譜的產生機理
6.2 發射光譜
6.2.1 等離子體發射光譜的譜特性
6.2.2 發射光譜診斷的實驗裝置
6.2.3 發射光譜方法的優點與缺點
6.3 發射光譜的光化線強度測定法
6.4 等離子體溫度的光譜測量
6.4.1 惰性示蹤氣體發射光譜法測量電子溫度
6.4.2 光強比值法測量電子溫度
6.4.3 發射光譜法測量分子轉動溫度、振動溫度
6.5 吸收光譜
6.5.1 吸收光譜原理
6.5.2 吸收光譜實驗裝置
6.6 激光誘導熒光光譜
6.6.1 激光誘導熒光原理
6.6.2 激光誘導熒光光譜的實驗裝置
6.6.3 激光誘導熒光光譜方法的優點與缺點
6.7 光腔衰蕩光譜
6.7.1 光腔衰蕩光譜原理
6.7.2 光腔衰蕩光譜實驗裝置
6.7.3 光腔衰蕩光譜實驗數據的獲得
6.8 低氣壓低溫等離子體的光譜診斷應用實例
6.8.1 C基氣體分子放電等離子體的光譜診斷
6.8.2 Si基氣體分子放電等離子體的光譜診斷
6.8.3 F基氣體分子放電等離子體的光譜診斷
6.8.4 等離子體材料加工工藝的終點探測
參考文獻
第7章 低氣壓低溫等離子體的質譜診斷
7.1 質譜診斷的基本原理
7.2 四極質譜儀
7.2.1 四極質譜儀的主要結構與工作原理
7.2.2 四極質譜儀的分辨率
7.2.3 四極質譜儀的標定
7.2.4 四極質譜儀的優點與缺點
7.2.5 AccuQuad 100D四極質譜儀介紹
7.3 飛行時間質譜儀
7.4 磁偏轉質譜儀
7.5 質譜儀與等離子體系統的連接
7.5.1 機械連接
7.5.2 電連接
7.6 質譜數據的表示方法
7.6.1 質譜數據的表示
7.6.2 圖形系數
7.7 中性氣體的質譜分析
7.7.1 中性氣體的四極質譜分析技術
7.7.2 中性氣體質譜的成分識別
7.7.3 中性氣體質譜的相對濃度測定
7.8 離子的質譜分析
7.8.1 離子的四極質譜分析技術
7.8.2 離子密度與離子能量分布的確定
7.8.3 等離子體的離子質譜分析
7.9 用質譜確定等離子體物理基本數據
7.10 低氣壓低溫等離子體的質譜診斷應用實例
7.10.1 Si基分子放電等離子體的質譜分析
7.10.2 C基分子放電等離子體的質譜分析
7.10.3 F基分子放電等離子體的質譜分析
7.10.4 脈沖激光燒蝕Ni、Al、ZnO靶的四極質譜和飛行時間質譜分析
參考文獻
附錄 部分受激原子、分子、離子發光特征譜線表
參考文獻
